본 발명은, 반도체식 가스 센서의 감응부로서 적합한 전이 금속 칼코게나이드를 제안한다. 본 발명의 반도체식 가스 센서용의 가스 센서 소자는, 기재와 상기 기재 상에 형성된 가스 검출을 위한 감응부를 구비한다. 상기 감응부는, 귀금속의 칼코게나이드 화합물의 박막을 포함한다. 이 귀금속의 칼코게나이드 화합물은 Pt, Pd, Ir, Ru의 어느 것의 칼코게나이드 화합물이 바람직하다. 구체적으로는, PtS2, PtSe2, PdS2, PdSe2, RuS2, RuSe2, IrS2, Ir2S3, IrSe2의 박막이 바람직하다. 본 발명의 귀금속 칼코게나이드 화합물의 박막을 포함하는 상기 감응부는, 다양한 검출 가스에 대하여 고감도이고 고응답성을 발휘하고, 소비 전력의 저감을 도모할 수도 있다.
