- 제목
- 모놀리식 적층 소자용 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 및 모놀리식 적층 소자용 에피택셜 웨이퍼
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2024.02.27
- 공개일
- 2024.09.04
- 게시글 내용
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본 발명은 모놀리식 적층 소자용 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 웨이퍼의 평탄도가 매우 우수하며, 웨이퍼의 층간 성분의 침범이 발생하지 않고 웨이퍼의 성분이 웨이퍼 전체에 걸쳐서 균일하면서도 기존의 제조 방식에 비하여 매우 작은 스케일의 웨이퍼를 제조할 수 있는 모놀리식 적층 소자용 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법에 관한 것이다.
- 첨부
- 공개전문PDF
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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