백금족 금속 칼코게나이드 박막 및 해당 백금족 금속 칼코게나이드 박막을 구비하는 반도체 재료
출원인
다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤, 연세대학교 산학협력단
출원일
2022.03.10
공개일
2023.11.27
게시글 내용
본 발명은 백금족 금속인 Ir 및 Ru의 칼코게나이드를 포함하는 박막에 관한 것이다. 이 박막은, 소정의 기재 상에 형성되고, 백금족 금속 칼코게나이드를 포함하고, 상기 백금족 금속 칼코게나이드는, Ir2S3 또는 IrS2, RuS2 혹은 RuSe2 중 어느 것을 포함한다. 박막의 막 두께는 0.5nm 이상 500nm 이하이다. 본 발명에서는, Ir2S3, IrS2, RuS2, RuSe2를 포함하는 박막에 있어서, 근적외광 조사에 의한 광전 효과를 발현할 수 있는 것을 실험적 방법 및 밀도 범함수 이론(DFT)에 기초하는 제1 원리 계산을 사용한 시뮬레이션에 의해 밝혀졌다. 본 발명은 특히 근적외선 영역의 파장 광에 대한 감도에 특징을 갖고, 지금까지 알려져 있지 않은 구성의 백금족 금속 칼코게나이드를 포함하는 박막이다.