전이 금속 디칼코제나이드 박막을 구비하는 광전 변환 소자 및 상기 광전 변환 소자를 구비하는 수광 소자
출원인
다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤, 연세대학교 산학협력단
출원일
2021.10.04
공개일
2023.10.11
게시글 내용
본 발명은, 기재 상에 형성된, 전이 금속 디칼코제나이드로 이루어지는 박막을 포함하는 광전 변환 소자에 관한 것이다. 본 발명에서는, 전이 금속 디칼코제나이드로 이루어지는 박막의 표면이, Au로 이루어지는 Au 나노로드 입자 및 Ag로 이루어지는 Ag 나노로드 입자 중 적어도 하나의 나노로드 입자에 의해 수식되어 있다. 이때, Au 나노로드 입자의 평균 애스펙트비가 3.0 이상 12.0 이하이고, Ag 나노로드 입자의 평균 애스펙트비가 3.0 이상 13.0 이하로 되어 있다. 본 발명에서는, Au, Ag 나노로드 입자에서 발현하는 국재 표면 플라스몬 공명에 의한 증감 작용에 의해, 근적외선 영역의 파장의 광에 대한 감도가 향상되어 있다. 본 발명의 광전 변환 소자에서는, 파장 영역 1600㎚ 근방의 근적외선 영역의 파장의 광에 대해서도 양호한 감도를 발휘한다.