- 제목
- 캔틸레버가 없는 광학식 대면적 다중탐침 현미경 기술
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2023.10.25
- 공개일
- 2024.10.14
- 게시글 내용
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본 발명의 일실시예는 광학식 대면적 다중탐침 현미경을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학식 대면적 다중탐침 현미경은 별도의 캔틸레버와 광학계를 필요로 하지 않아 구성이 매우 단순하고 대면적 고속측정이 가능한 구성이며, 이는 탐침의 구조와 이미징 메커니즘을 근본적으로 개선하여 측정 생산 시간을 획기적으로 높일 수 있는 새로운 방식의 다중탐침 이미징 프로세스를 제공한다.
- 첨부
- 공개전문PDF
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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