크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법 및 제조된 투명 발열필름
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2023.10.24
공개일
2024.05.08
게시글 내용
본 발명은 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법으로서, 필름 기판이 준비되는 S100 단계; 상기 필름 기판 상에 희생층이 코팅되는 S200 단계; 상기 희생층이 식각용액에 의해 제거되면서 희생층이 패터닝되는 S300 단계; 상기 패터닝된 희생층 상에 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스가 동시에 열증착되는 S400 단계; 및 희생층 제거용액에 의해 상기 기 형성된 희생층이 제거되고, 크롬-금-갈륨 액체금속의 패턴이 구비되는 S500 단계를 포함한다.