본 개시는 각각 실리콘 나노막에 금이 도핑된 금 도핑 실리콘 나노막으로 구현되는 적어도 하나의 센싱 셀을 포함하는 센서 어레이 및 적어도 하나의 센싱 셀에 연결되는 다수의 금속 라인을 포함하여, p 타입 실리콘 나노막의 페르미 에너지 준위와 캐리어 밀도의 동결 영역이 고유 영역으로 이동되도록 금을 도핑하여 활성화 에너지를 증가시킴으로써 매우 높은 열민감도와 빠른 열반응 속도 및 우수한 인체 안전성을 가질 수 있는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 및 이의 제조 방법을 제공한다.
