에피텍셜 웨이퍼가 개시된다. 에피텍셜 웨이퍼는 기판; 및 교대로 적층된 제1층 및 제2층을 구비하고, 상기 기판 상에 배치된 적층 구조체를 포함하고, 상기 제1층은 하기 화학식 1-1 내지 1-5 중 선택된 어느 하나의 화합물로 형성되고, 상기 제2층은 하기 화학식 2의 화합물로 형성된다. [화학식 1-1] Si1-xGex (m003c#x≤1.0) [화학식 1-2] Si1-x-yGexBy (m003c#x003c#1.0, 0003c#y≤0.4, 0.2003c#x+y≤1.0). [화학식 1-3] Si1-x-zGexPz (m003c#x003c#1.0, 0003c#z≤0.4, 0.2003c#x+z≤1.0) [화학식 1-4] Si1-x-zGexCz (m003c#x003c#1.0, 0003c#z≤0.4, 0.2003c#x+z≤1.0) [화학식 1-5] Si1-x-y-zGexByPz (0.2003c#x003c#1.0, 0003c#y≤0.4, 0003c#z≤0.4, 0.2003c#x+y+z≤1.0) [화학식 2] Si1-aGea (0003c#a≤m)