- 제목
- 비대칭 실리콘 관통 전극 연결 구조를 포함하는 3차원 집적 회로
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2023.02.24
- 공개일
- 2024.09.02
- 게시글 내용
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본 발명의 3차원 집적 회로는 순차적으로 연결된 N개의 실리콘 관통 전극을 포함하는 제1 그룹; 상기 제1 그룹 중 N번째 실리콘 관통 전극과 연결된 제1 예비 관통 전극; 상기 제1 그룹 중 N번째 실리콘 관통 전극과 연결되고, 순차적으로 연결된 M개의 실리콘 관통 전극을 포함하는 제2 그룹; 및 상기 제2 그룹 중 M번째 실리콘 관통 전극과 연결된 제2 예비 관통 전극을 포함할 수 있다.
- 첨부
- 공개전문PDF
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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