- 제목
- 에피택셜 웨이퍼, 이의 제조방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2022.11.24
- 공개일
- 2024.05.31
- 게시글 내용
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에피텍셜 웨이퍼가 개시된다. 에피텍셜 웨이퍼는 기판; 및 상기 기판 상에 배치되고, 실리콘(Si)층 및 실리콘 게르마늄(SiGe) 층이 교대로 적층된 적층체;를 포함하고, 상기 실리콘 게르마늄층은 보론(B) 및 인(P)이 도핑될 수 있다.
- 첨부
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