본 실시예는 체인으로 연결된 복수의 스캔 셀들을 포함하여 테스트 대상 회로(DUT, device under test)의 고장을 검출하는 테스트 장치의 제조 방법으로, 상기 제조 방법은: 자동 테스트 패턴 생성기가 형성한 결정 패턴(deterministic pattern)을 분석하는 결정 패턴 분석 단계; 의사 난수 패턴 생성기가 형성한 의사 난수 패턴이 상기 DUT에 제공되고, 상기 DUT에서 스캔 아웃된 패턴을 분석하는 의사 난수 패턴 분석 단계; 상기 결정 패턴 분석 단계와 의사 난수 패턴 분석 단계들의 결과로부터 로직 회로와 연결될 상기 스캔 셀을 선정하는 스캔 셀 선정 단계 및 상기 결정 패턴 분석 단계와 의사 난수 패턴 분석 단계들의 결과로 결정된 로직 회로를 선정된 상기 스캔 셀에 연결하는 로직 회로 연결 단계를 포함한다.