개시된 실시예는 유체 상태의 적어도 하나의 원료 샘플이 공급될 수 있는 다수의 포트와 다수의 포트를 연결하는 유로 채널이 형성되는 기판 및 유로 채널의 하부면과 동일한 높이에 형성되는 금속 구조체를 포함하고, 금속 구조체는 다수의 포트 중 적어도 하나의 포트가 형성된 영역으로 인가되는 광 또는 전류 중 하나에 의해 열을 발생하여 해당 포트에서의 유체의 증발량이 조절함으로써 유체의 흐름이 제어되도록 하여, 유체의 증발량의 변화를 기반으로 유체의 흐름을 국소적으로 미세하게 제어할 수 있으며, 조사되는 광의 파장이나 세기를 조절하여 유체의 흐름을 더욱 정밀하게 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 광 마스크를 활용하여 단일 광으로도 다수의 포트에 대한 유체 흐름을 국소적으로 정밀 제어할 수 있는 바이오칩 및 이의 제조와 유체 제어 방법을 제공한다.