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이물질 검출을 위한 방사선 검사 장치는 방사선을 조사하는 조사기, 물체를 투과한 방사선을 검출하여 섬광신호로 변환하는 검출부, 상기 섬광신호를 전기적 신호로 변환하는 복수의 광센서 소자를 포함하는 광센서, 및 상기 복수의 광센서 소자의 배치 방식에 대응하여 복수의 방사선 촬영 영상을 생성하고, 상기 복수의 방사선 촬영 영상에 대해 영상 재정합 과정을 수행하여 해상도가 증가된 방사선 촬영 영상을 생성하는 신호처리부를 포함한다.
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