상전이 물질이 결합된 모스 트랜지스터의 수명 검출 방법이 개시된다. 실시예에 따른 방법은 (a) 상전이 소자의 상전이 발생횟수에 따른 도체, 부도체 상태 저항 변동률 측정 및 함수 추출하는 단계와, (b) 시뮬레이션 프로그램을 이용하여 상전이 소자 저항 변동률을 고려하여 상전이 소자와 연결된 모스트랜지스터에 인가되는 전압정보를 추출하는 단계와, (c) 상전이 소자와 결합한 순수 모스트랜지스터에 인가되는 전압만을 고려하여 모스트랜지스터의 특성변동(온-상태 전류변화량, 문턱전압 변화량)을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
