제목

박막 모니터링 방법 및 장치

출원인

연세대학교 산학협력단, 동국대학교 산학협력단

출원일

2022.01.28

공개일

2023.08.07

게시글 내용

 본 발명은 기판 상의 박막 내에 여기된 캐리어를 형성할 수 있도록 레이저광을 박막에 입사하는 단계; 박막 내 여기된 캐리어가 재결합하는 동안 박막에 전자기파를 조사하는 단계; 박막 내 여기된 캐리어와 반응하는 전자기파의 특성 정보를 측정하는 단계; 및 측정된 전자기파의 특성 정보를 포함하는 파라미터를 이용하여 기판 상의 위치에 따른 박막의 조성 균일도 또는 박막의 결함 분포를 판별하는 단계;를 포함하는, 박막 모니터링 방법을 제공한다. 

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