제목

수소 센서 및 수소 센서 제조방법

출원인

현대자동차주식회사, 기아 주식회사, 연세대학교 산학협력단

출원일

2021.10.27

공개일

2023.05.04

게시글 내용

 전이금속 또는 그 합금 박막을 탄성기판의 표면에 배치하는 단계; 탄성기판에 인장력을 반복적으로 인가하여 탄성기판의 표면에 배치된 박막에 나노크랙을 형성하는 단계; 및 형성된 나노크랙에 수소가스를 주입하고 제거하여 나노갭을 형성하는 단계;를 포함하며, 나노크랙을 형성하는 단계에서 인장력은 탄성기판의 인장률이 25% 내지 100%가 되도록 인가되는 것을 특징으로 하는 수소 센서 제조방법이 소개된다. 

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