마이크로 구조체 어레이 및 그 제조 방법, 마이크로 발광 다이오드 및 그 제조 방법과 표시 장치
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2021.05.24
공개일
2022.12.01
게시글 내용
적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 각각 준비하는 단계, 구획된 제1, 제2 및 제3 영역을 가진 기판 위에 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 용액을 각각 도포하여 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막을 형성하는 단계, 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 위에 복수의 오목 마이크로 패턴을 가진 주형을 각각 배치하는 단계, 열처리하여 상기 복수의 오목 마이크로 패턴 내에서 상기 적색 발광용 페로브스카이트 전구체 막, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 전구체 막 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 전구체 막으로부터 각각 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정, 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정 및 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 얻는 단계, 그리고 상기 주형을 제거하여 상기 적색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 적색 발광용 마이크로 구조체, 상기 녹색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 녹색 발광용 마이크로 구조체 및 상기 청색 발광용 페로브스카이트 나노결정을 포함한 복수의 청색 발광용 마이크로 구조체가 배열된 마이크로 구조체 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 구조체 어레이의 제조 방법, 마이크로 구조체 어레이, 이를 포함하는 마이크로 발광 다이오드 및 그 제조 방법과 표시 장치에 관한 것이다.