- 제목
- 유기 금속 화합물 제조방법 및 이의 방법으로 얻어진 유기 금속 화합물을 이용한 박막
- 출원인
- 주식회사 한솔케미칼, 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2021.04.22
- 공개일
- 2022.10.31
- 게시글 내용
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본 발명은 금속 헥사카보닐(metal hexacarbonyl) 화합물과 헥사하이드로-1,3,5-트리아진(hexahydro-1,3,5-triazine) 화합물을 반응시키는 단계를 포함하는 높은 수율의 유기 금속 화합물의 제조방법 및 제조된 유기 금속 화합물을 증착하여 제조한 우수한 특성의 박막에 관한 것이다.
- 첨부
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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