1/4 파장판 및 그 제조방법과 1/4 파장판을 포함하는 검출장치에 관해 개시되어 있다. 일 실시예에 의한 1/4 파장판은 투명 기판과 그 위에 형성된 복수의 메타 패턴을 포함하는데, 상기 복수의 메타 패턴은 선편광된 광을 원편광된 광으로 변화시키도록 배치되어 있다. 일 실시예에 의한 1/4 파장판의 제조방법은 투명 기판 상에 메타 물질층을 형성한 다음, 상기 메타 물질층을 패터닝하여 상기 투명 기판 상에 복수의 메타 패턴을 형성하는 과정을 포함할 수 있다. 일 실시예에 의한 검출장치는 피검물을 향해 선편광된 광을 방출하는 광원부와, 상기 광원부로부터 방출된 선편광된 광이 상기 피검물에 입사되기 전에 상기 선편광된 광의 편광 상태를 원편광으로 바꾸는 1/4 메타 파장판과 상기 피검물에서 방출되는 광을 검출하는 검출기를 포함한다.