- 제목
- 복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟 및 이를 이용한 복합 자성물질 증착방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2016.03.17
- 공개일
- 2017.09.27
- 게시글 내용
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본 발명은 지지용 플레이트; 및 상기 플레이트 상에 부착되고, 복수개로 분할된 타겟 패턴 영역들을 포함하되, 상기 타겟 패턴 영역들 중 적어도 하나는 서로 상이한 자성 타겟 패턴 재료로 형성된 것인 복합 자성물질 증착용 스퍼터링 타겟 및 이를 이용한 복합 자성물질 증착방법에 관한 것이다.
- 첨부
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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