- 제목
- 박막 표면 처리 방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2016.02.29
- 공개일
- 2017.09.07
- 게시글 내용
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본 발명은 공정 단가를 낮추면서도 우수한 특성의 산화막을 형성할 수 있는 박막 표면 처리 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 표면 처리 방법은, OH 라디칼을 포함하는 반응물을 이용하여 박막 표면에 산화막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
- 첨부
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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