제목

광학 분광 분석 장치 및 플라즈마 처리 장치

출원인

삼성전자주식회사, 연세대학교 산학협력단

출원일

2015.04.07

공개일

2016.10.18

게시글 내용

광학 분광 분석 장치가 제공된다. 광학 분광 분석 장치는, 기판에 대해 플라즈마 공정을 처리하는 공정 챔버 내의 광을 측정하는 광 측정부, 상기 광 측정부로부터 수집된 광을 전달받아 플라즈마 상태를 분석하는 광 분석부, 상기 광 분석부의 출력 신호를 전달받아 상기 출력 신호를 처리하는 제어부, 상기 공정 챔버와 상기 광 측정부 사이에 배치되어 상기 광 측정부에 결합되고, 상기 광 측정부로 수집되는 수집광을 제어하는 수광 제어부를 포함한다.

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