- 제목
- 전기 에너지를 이용한 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2015.03.04
- 공개일
- 2016.09.20
- 게시글 내용
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본 발명은 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 전기 에너지를 이용하여 박막을 활성화하는 방법, 박막 트랜지스터를 제조하는 방법 그리고 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 활성화 방법은 박막에 전기 에너지를 공급하는 단계를 포함할 수 있다.
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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