그래핀 박막 패터닝 장치, 이를 이용한 그래핀 박막 패터닝 방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 박막
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2014.09.26
공개일
2016.04.05
게시글 내용
그래핀 박막 패터닝 장치, 이를 이용한 그래핀 박막 패터닝 방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 박막이 게시된다. 본 발명의 실시예에 따른 그래핀 박막 패터닝 장치(100)는, 하방으로 폭이 좁아지고, 하단부에 개구부(111)가 형성된 분사노즐(110); 상기 분사노즐(110)의 개구부(111)에 인접하여 분사노즐에 서로 대향하여 장착되고, 소정 크기의 교류 전기장을 형성시키는 한 쌍 이상의 전기장형성전극(120); 상기 분사노즐(110)에 그래핀 솔루션(10)을 공급하는 그래핀 솔루션 공급부(130); 및 상기 분사노즐(110)을 기설정된 패턴 경로에 따라 이동시키는 구동부(140);를 포함하는 것을 구성의 요지로 한다.본 발명의 그래핀 박막 패터닝 장치에 따르면, 분사노즐의 단부에 일정간격으로 구획 배열하여 전기장형성전극을 한 쌍 이상 장착함으로써, 기판 상부면의 선택적 위치에 그래핀 박막을 형성시킬 수 있어, 결과적으로 원하는 형상의 그래핀 박막 패턴을 형성시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 그래핀 박막 패터닝 방법에 따르면, 산화그래핀을 이용하므로, CVD 그래핀 형성을 위한 고온의 CVD 공정이 필요하지 않고, 오직 단 하나의 패터닝 과정에 의해 그래핀 박막을 제조할 수 있다.