본 발명은 파릴렌 박막 형성 장치, 더욱 구체적으로 파릴렌 모노머를 기화, 열분해 및 중합 단계를 거쳐 파릴렌 박막을 형성하는 파릴렌 박막 형성 장치 및 상기 파릴렌 박막 형성 장치를 이용하여 파릴렌 박막을 형성하는 방법에 관한 발명이다. 본 발명에 따른 파릴렌 박막 형성 방법은: 파릴렌 다이머를 파릴렌을 기화시키는 제 1 단계, 상기 기화된 파릴레 다이머를 열분해하여 중간 생성물을 형성하는 제 2 단계, 및 상기 중간생성물을 증착 챔버 내부로 도입하여, 상기 증착 챔버 내부에 형성된 기판 위에 파릴렌 박막을 증착시키면서, 상기 증착 챔버 내부에 형성된 QCM 센서의 공진 주파수를 측정하여, 상기 QCM 센서의 공진 주파수가 사전에 결정된 주파수에 도달하면 상기 파릴렌 막막의 증착을 중단시키는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.