제목

저 소비 전력 특성을 갖는 상변화 메모리 소자 및 그 제조 방법

출원인

연세대학교 산학협력단

출원일

2013.11.29

공개일

2014.01.10

게시글 내용

본 발명에 따라서 하부 전극과, 상기 하부 전극의 적어도 일부에 형성된 상변화 재료와, 상기 상변화 재료의 측면에 형성된 층간 절연막 및 상기 상변화 재료와 층간 절연막 상에 형성되는 상부 전극을 포함하고, 상기 층간 절연막은 규칙적 다공성 절연막으로 형성되고, 상기 규칙적 다공성 절연막은 0.1~10 nm 크기의 복수의 기공을 포함하는 것을 특징으로 하는 상변화 메모리 소자가 제공된다.

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