모바일 메뉴 닫기
 
전체메뉴
닫기
 

산학협력단

보유 특허 검색

제목
점탄성 흐름을 이용한 박막 패터닝 방법 및 상기 방법에 따라 박막이 패터닝된 기판
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2011.06.20
공개일
2012.12.28
게시글 내용
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박막 패터닝 방법은: 기판의 소정의 박막 패턴을 형성하기 위한 영역을 제외한 영역에 결정질 고분자 재료를 패터닝하는 제 1 단계; 상기 결정질 고분재 재료가 형성된 기판 위에 박막 재료와 용매가 혼합된 용액을 드랍(drop)하는 제 2 단계; 상기 용매를 증발시키는 제 3 단계; 상기 박막 재료 및 고분자 재료가 형성된 기판을 열처리하는 제 4 단계; 상기 결정질 고분자 재료를 제거하는 제 5 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 박막 패터닝 방법을 이용하면 종래의 복잡한 포토 리소그래피 방법에 비하여 저렴한 비용으로 대량의 박막 패터닝이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 방법을 이용하면, 금속 재료 외에도 유기/무기 혼합물, 고분자 재료, 금속 산화물, 반도체 등 다양한 재료들을 기판에 패터닝 할 수 있다.

점탄성 흐름을 이용한 박막 패터닝 방법 및 상기 방법에 따라 박막이 패터닝된 기판 대표 이미지

첨부
공개전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
  • 키워드(검색어)별, 발명자별 특허(기술), 공개특허 한정 검색 가능
  • 연구분야별 비공개 특허(기술)은 지식재산권 담당자 별도 문의
  • 지식재산권 담당자
  • 관련 문의처
    보유특허 검색 페이지 및 담당자 정보 안내
    특허 출원인 (권리자) 전담부서 연락처
    연세대학교 산학협력단 본교 산학협력단 지식재산팀 지식재산팀 양지혜 팀장
    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
    연세대학교 원주산학협력단 원주산학협력단 기술경영팀 기술경영팀 오정환 팀장
    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)