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산학협력단

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제목
투명 전극 박막의 직접 패터닝 방법 및 이를 이용한 박막 회수 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2011.01.25
공개일
2012.08.02
게시글 내용
본 발명에 따라서 기판 상의 투명 전극 직접 패터닝 방법이 제공되는데, 상기 방법은 (a) 기판을 준비하는 단계와; (b) 상기 기판의 일면에 투명 전극층을 형성하는 단계와; (c) 상기 투명 전극층의 광파장에 대한 투과율 스펙트럼을 분석하는 단계와; (d) 상기 투과율 스펙트럼과 관련하여, 광흡수성을 나타내는 파장 대역 및 펄스 폭을 갖는 펄스 레이저를 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 된 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 투명 전극층에 조사함으로써, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴을 상기 투명 전극층에 형성하는 투명 전극층 패터닝 단계로서, 상기 펄스 레이저 조사로 인한 급속 열팽창에 의해 상기 투명 전극층에 열탄성력을 야기하고, 이 열탄성력에 의해 상기 투명 전극층 일부가 기판으로부터 분리되어, 상기 패턴을 형성하는 것인, 투명 전극층 패터닝 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

투명 전극 박막의 직접 패터닝 방법 및 이를 이용한 박막 회수 방법 대표 이미지

첨부
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  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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