- 제목
- 루테늄 캡핑 실리사이드 나노와이어 제조방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2010.12.31
- 공개일
- 2012.07.10
- 게시글 내용
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본 발명은 실리사이드 나노와이어를 제조하는 방법으로서 원자층 증착법에 의해서 루테늄을 코발트가 증착된 실리콘 나노와이어에 증착시켜 캡핑하는 단계를 포함한다. 본 발명의 방법에 의해서 실리사이드 나노와이어의 균일도가 향상되며 콘택저항이 줄어 전기전도도가 좋은 반도체 소자를 제작하는데 사용이 가능하다.
- 첨부
- 공개전문PDF
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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