제목

산화물 박막용 조성물, 산화물 박막용 조성물 제조 방법, 산화물 박막용 조성물을 이용한 산화물 박막 및 전자소자

출원인

연세대학교 산학협력단

출원일

2010.12.31

공개일

2012.07.10

게시글 내용

산화물 반도체용 조성물, 그 제조 방법, 이를 이용한 산화물 반도체 박막 및 전자 소자 형성 방법이 제공된다. 산화물 반도체용 조성물은 인듐화합물 또는 주석화합물과, 아연화합물과 스칸디움화합물을 포함한다.

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