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산학협력단

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제목
무반사 패턴이 형성된 적외선 투과용 광학계 및 그 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2010.12.30
공개일
2012.07.10
게시글 내용
본 발명은 무반사 패턴이 형성된 적외선 투과용 광학계 및 그 제조방법에 관한 것으로, 자세하게는 ) 광학계 평판 표면에 PR 층을 도포하는 단계, ii) 상기 PR 층에 정현파(sinusoidal wave) 형상의 에칭 배리어(etching barrier) 패턴을 제작하는 단계, 및 iii) 상기 에칭 배리어 패턴이 형성된 평판에 에칭 공정을 통하여 돌기 형상의 패턴을 제작하는 단계를 통하여 제조되는 무반사 패턴이 형성된 적외선 투과용 광학계에 대한 것이다.

무반사 패턴이 형성된 적외선 투과용 광학계 및 그 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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