본 발명은 브랜치드 나노와이어의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 금속 촉매 및 VLS(vapor-liquid-solid) 방법을 이용하여 나노와이어를 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 나노와이어의 성장을 위한 소스 기체는 실란(SiH4)를 포함하며, 운반 기체는 수소(H2)를 포함하고, 상기 실란(SiH4) : 수소(H2)의 비율은 10 ~ 15 : 200 ~ 300sccm 인 것을 특징으로 한다. 본 발명은 단일 공정으로써 브랜치드 나노와이어를 제조할 수 있고, 본 발명에 따라 제조되는 브랜치드 나노와이어는 극대화된 표면적을 제공할 수 있으므로, 태양전지 등의 소자의 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.