본 발명은 음굴절률 메타물질을 이용한 능동형 위상 보정 방법, 이를 이용한 노광 이미징 장치와 시스템 및 음굴절률 메타물질을 이용하는 노광 이미징 장치의 분해능 개선방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 광원부, 상기 광원부에서 조사되는 전자기파의 파장을 조절하는 광원 제어부, 노광 대상 물체 또는 회로 배열의 정보를 담고 있는 패턴부, 음의 굴절률을 가지는 음굴절률 메타물질 층과 상기 음굴절률 메타물질층의 양면에 위치하며 양의 굴절률을 가지는 양굴절률 물질층으로 구성되는 렌즈부, 및 상기 렌즈부를 투과한 전자기파 정보를 기록하는 기록부를 포함하는 노광 이미징 시스템에 있어서, 상기 광원부에서 조사되는 파장 대역을 상기 음굴절률 메타물질과 상기 양의 굴절률 물질의 유전율 실수부 절대값이 불일치하도록 조절하는 단계를 포함하는 능동형 위상 보정 방법과, 상기 음굴절률 메타물질을 금속-유전체 복합재료로 구성함으로써, 상기 광원부에서 조사되는 파장 대역을 조절하는 과정 없이 이미지 퍼짐 현상을 효과적으로 저감시킬 수 있는 노광 이미징 장치의 분해능 개선방법에 대한 것이다.