고감도 표면 플라즈몬 공명 센서, 표면 플라즈몬 공명 센서칩, 및 표면 플라즈몬 공명 센서 소자의 제조 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2010.02.25
공개일
2011.08.31
게시글 내용
본 발명의 실시예에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는, 프리즘; 상기 프리즘 상에 배치된 금속 박막; 상기 금속 박막 상에 형성되어 국소 표면 플라즈몬 공명에 의한 여기장을 발생시키는 물질 패턴; 국소 표면 플라즈몬 공명에 의해 국소적으로 증폭된 근거리 여기장이 발생되는 지점인 핫스폿(hot spots)을 노출시켜 시료 물질의 접합 영역을 한정하도록 상기 물질 패턴과 금속 박막을 부분적으로 차단하는 마스크층; 상기 프리즘을 통해 상기 금속 박막으로 입사하는 입사광을 제공하는 광원; 및 상기 금속 박막에서 반사된 반사광을 감지하는 수광부를 포함한다.