본 발명은 금속 또는 산화물 전구체를 포함하는 전구체 용액을 준비하고, 상기 전구체 용액을 기판에 도포하여 박막 또는 패턴화된 박막을 형성하고, 상기 박막에 마이크로웨이브를 가하여 박막을 열처리하는 것을 특징으로 하는 용액 공정 기반 박막 형성 방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 연속적으로 이송하는 기판에 대하여 용액을 도포하여 박막을 형성하고, 이송하는 기판을 열처리부로 인도하여 기판에 도포된 박막에 마이크로웨이브를 가하는 연속 공정이 가능하다. 본 발명에 따르면, 용액을 이용하여 저온에서 신속하게 다양한 박막 요소들을 형성할 수 있으며, 특히 플레시블 디스플레이 구성 부품의 제조에 효과적으로 사용될 수 있다. 박막 형성, 용액 공정, 저온 열처리, 연속 공정