- 제목
- 반도체 가스센서
- 출원인
- 엘지이노텍 주식회사, 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2008.11.28
- 공개일
- 2010.06.07
- 게시글 내용
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본 발명의 실시예에 따른 반도체 가스센서는, 기판에 형성된 센서전극과; 상기 센서전극 위에 형성되는 감지막과; 상기 감지막이 형성된 상기 기판 면의 반대 면에 형성된 히터부와; 상기 히터부와 동일 면에 형성되어 온도를 측정하는 온도센서를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 히터의 구동효율을 향상시키고 설계공간을 절약할 수 있는 반도체 가스센서를 제공할 수 있다. 가스센서, 질소, 히터
- 첨부
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