- 제목
- 저 컨택트저항 실리콘계 나노선 및 그 제조방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 출원일
- 2008.08.09
- 공개일
- 2009.02.13
- 게시글 내용
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저 컨택트저항 실리콘계 나노선이 제공된다.본 발명에 따른 저 컨택트저항 실리콘계 나노선은 실리콘 또는 실리콘-게르마늄으로 이루어진 코어부; 및 상기 코어부를 둘러싸며 금속규화물로 이루어진 표피부를 포함하며, 본 발명에 따른 나노선을 이용하여 트랜지스터 기타 디바이스를 제작하는 경우 나노선과 금속 배선과의 접합시 저저항의 컨택트를 이룰 수 있으므로 고집적 저저항의 고속 반도체 장치를 제조할 수 있다.
- 첨부
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- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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