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산학협력단

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제목
홀이 개방된 다공성 실리콘막의 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단, 삼성전기주식회사
출원일
2007.04.27
공개일
2008.10.30
게시글 내용
본 발명은 홀이 개방된 다공성 실리콘막의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에칭용액을 이용한 전기 화학적 반응으로 다공성 실리콘막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 에칭용액을 불산(HF)과 디메틸포름아마이드(DMF)가 일정비로 혼합된 혼합 에칭용액을 선택사용하고, 상기 전기 화학적 반응의 조건인 온도, 시간, 정전류 및 표면저항 등을 최적화하여, 종래에 비해 현격하게 증가된 범위까지 두께가 확장되면서 동시에 홀이 개방된 다공성 실리콘막을 제조하는 방법에 관한 것이다.다공성 실리콘막, 실리콘 양극산화, 불산, 디메틸포름아마이드, 다공성 막

홀이 개방된 다공성 실리콘막의 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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