배향막과 그 제조방법 및 이를 갖는 액정표시장치가 개시된다. 상기 배향막은 산화규소(SiOx) 박막으로 이루어진다. 상기 산화규소 박막은 상기 x가 1.0과 1.5 사이의 값일 때 상기 산화규소 박막 상에서 액정을 수평으로 배열하며 상기 x가 1.5와 2.0 사이의 값일 때 상기 산화규소 박막 상에서 액정을 수직으로 배열한다. 상기 배향막은 화학기상증착법이나 기화증착법을 이용하여 넓은 면적의 기판에 용이하게 형성될 수 있다. 상기 배향막은 열적이나 물리적으로 안정하여 이러한 배향막이 사용된 액정표시장치는 동작 특성이 향상된다. 또한 상기 배향막은 500 ~ 3000Å 범위의 적정 두께를 가져 상기한 두께의 배향막을 이용한 액정표시장치는 광에 대한 투과율이 향상된다.
