본 발명에 따른 산화방지구조의 고이동도 유기전기발광소자는, 유기물로 형성되는 발광층에 양전극층이나 기판으로부터 확산되거나, 외부 대기로부터 유입될 수 있는 산소나 수분의 침투를 방지하기 위해, 특정한 산소화합물질로 상기 유기전기발광소자의 외부를 감싸도록 봉지하거나 양전극의 상부에 증착하는 구조를 취하며, 유기전기발광소자의 제작 공정중 필요한 층 성장에 이온빔어시스트 증착(IBAD)을 도입한, 산화방지구조의 고이동도 유기전기발광소자에 관한 것이다.본 발명은 순차적인 구조의 기판, 양전극층, 발광층, 및 음전극층을 주요 동작구성층으로 하는 유기전기발광소자에서, 소정의 확산방지물질에 의해 상기 양전극층의 상부에 증착되는 확산방지막을 포함하도록 형성되는 구조와, 외부의 산소나 수분의 흡수를 차단하기 위해 상기 유기전기발광소자의 각 구성층들의 외부를 감싸도록 소정의 확산방지물질에 의해 각 구성층들의 외부를 감싸도록 증착되는 확산방지봉지층을 포함하는 다른 구조와, 상기 확산방지막과 상기 확산방지봉지층을 동시에 포함하고 있는 또 다른 구조로 형성되는 것을 특징으로 하며, 두 개의 전극층과 최외각의 확산방지봉지층은 이온빔어시스트 증착공정을 이용해 증착하게 된다.따라서 본 발명은 종래 유기전기발광소자에서 문제시되었던 산소나 수분의 확산 및 침투를 방지함은 물론, 흑점생성원인을 제거함으로써 이동도가 높은 유기전기발광소자를 형성제작할 수 있다.유기전기발광소자(OELD), 평판디스플레이(FPD), 봉지(encapsulation), 확산(Diffusion), 이온빔어시스트 증착(IBAD)