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제목
박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원
출원인
학교법인연세대학교
공고일
2005.01.24
출원일
2002.01.22
공개일
2003.07.28
게시글 내용
본 발명은 박막 제작을 위한 증발원에 관한 것으로서 특히, 그 상측에 기판을 위치하여 물질을 증발, 증착시킬 경우에, 특정한 패턴을 갖는 슬릿을 이용한 선형 또는 평면형 증발원을 제공하기 위한 것으로서, 내부에 증착용 물질을 담는 것으로, 길이 방향으로 일정길이 연장되어 긴 통형상으로 형성되는 도가니(10)와; 상기 도가니(10)의 상측면에 상기 도가니(10)의 길이방향을 따라, 도가니(10)의 단면적에 비하여 작은 면적을 갖는 슬릿(20)이 형성되거나 별도의 슬릿(20)이 설치되어, 상기 길이 방향에 수직인 방향으로 기판을 이동시키면서 박막을 증착하도록 하여, 증착하는 박막의 두께분포의 균일성을 향상시키거나 원하는 패턴으로 조절 가능하도록 하는 것이다.증착, 개구부, 박막, 선형, 평면형, 증발원, 두께분포.

박막두께분포를 조절 가능한 선형 및 평면형 증발원 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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