제목

이온 건 스퍼터링 증착 시스템용 이온 발생자

출원인

연세대학교 산학협력단

출원일

2000.07.07

공개일

2002.01.17

게시글 내용

본 발명은 이온 건 스퍼터링 증착 시스템용 이온 발생자에 대한 것이다. 본 발명에 따른 이온 발생자는, 이온 발생자 본체; 상기 이온 발생자의 양측에 마운트되도록 구비되며 복수개의 관통홀이 수평방향으로 형성되어 있는 제1 및 제2지지대; 및 상기 제1 및 제2지지대 사이에 구비되고 고융점 금속으로 이루어진 와이어로, 상기 관통홀을 통해 상기 제1 및 제2지지대 사이를 복수 번 오가도록 직렬로 연결된 와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다. 

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